基于干涉条纹的激光准直仪的研究

摘要

在所研究的直线度激光测量系统中,以激光干涉光作为准直测量的基准,CCD作为光电转换元件,进行导轨直线度误差的测量与计算.通过系统的重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验表明:测量系统的测量距离可达10 m以上,可检测x轴方向上30 mm以内的位移变化量,分辩力可达0.001 mm.其性能指标基本达到了预定目标.