1.06μm高功率激光反射膜

摘要

为提高反射膜的抗激光强度,对ZrO_2-SiO_2多层介质膜的制造工艺进行了深入的研究。已制备出高反射膜和激光输出膜在λ_0=1.064μm处,激光脉宽为1.2ms的单脉冲激光照射下,能承受的能量密度为160J/cm^2;在重复频率为20次/s的激光照射下,能承受的功率密度为1.5kW/cm^2,承受打激光脉冲300万次膜层不损坏,并通过了16kW/cm^2承受激光脉冲7.2万次的超负荷试验。