碲镉汞合金组分分布的描述方法

摘要

介绍了一种利用ＥＤＸ和自动数据处理程序相结合。用于ＨｇＣｄＴｅ晶体组合分布研究的描述方法。实际使用结果表明，该方法满足ＨｇＣｄＴｅ晶体组分分布研究的要求，具有快速直观的特点，对指导工艺调整有重要意义，该法可用于其他半导体材料的成分分析。