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增黏剂(HMDS)在锑化铟光刻工艺中的应用

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摘要

介绍了增黏剂(HMDS)的物化性质及其在光刻工艺中的作用,并且通过实验研究将增黏剂应用于锑化铟材料的光刻工艺,改善了锑化铟的表面状态,增强了锑化铟衬底与光刻胶的黏附性,进而在湿法腐蚀等后续工艺中提高了光刻胶的抗腐蚀性.

著录项

来源
《激光与红外》 |2008年第8期|789-791|共3页
作者
郭喜;
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作者单位

华北光电技术研究所,北京100015;

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正文语种 chi
中图分类其他;
关键词
增黏剂(HMDS); 锑化铟; 光刻工艺; 光刻胶; 黏附性; 抗腐蚀性;

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