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受激准分子灯

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摘要

受激准分子灯是近期研发的一种新类型产品,该灯采用一个充以低压气体的玻壳,两个电极至少有一个置于玻壳外,常用玻壳内无电极的结构.它可产生真空紫外线或紫外线+臭氧气,用于消毒杀菌清洁液晶基片、集成电路晶片等领域.

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来源
《光源与照明》 |2006年第1期|10-13|共4页
作者
严增濯;
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作者单位

华东电子管厂,210012;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电气照明;
关键词
受激准分子灯; 电解质材料; 真空紫外线;

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