ASSP工艺制备掺镧氧化铝膜研究

摘要

氧化铝膜作为典型的无机陶瓷膜材料,具有良好的热稳定性、化学稳定性和成膜性.用稀氨水正向滴定,通过控制沉淀反应速度(10 m L/m in～15 m L/m in)、反应终点(pH= 7),加入HAc作胶溶剂,于80 ℃恒温胶溶12 h,可制得稳定、透明的溶胶,用该溶胶可制得无开裂的La2O3-Al2O3 膜.采用XRD,SEM 等对膜的组成和形貌等物化性质的变化进行分析,结果表明,掺入6% 的La2O3 可以获得β-Al2O3 膜。