氧化铟和氧化锡混合粉体喷雾造粒工艺研究

摘要

氧化铟锡(ITO)原料粉作为影响靶材制备的关键性因素,对所制备出的靶材质量有着重要影响,为了改善纳米氧化铟锡混合粉体的压制性能,提高ITO原料粉的质量,将纳米氧化铟和氧化锡混合粉体与分散剂和黏结剂混合之后球磨,再采用压力喷雾造粒技术制备近球形氧化铟锡造粒粉。分别研究浆料黏度、黏结剂含量、浆料固含量和进风温度对造粒氧化铟锡粉体微观表面形貌、松装密度、振实密度以及粒度分布的影响。结果表明:当黏结剂聚乙烯醇(PVA)质量分数为1%,氧化铟锡浆料固含量为50%,以及压力喷雾造粒机进风温度为200℃时,可以得到性能良好的氧化铟锡造粒粉。采用喷雾造粒工艺可以有效提高纳米氧化铟锡混合粉体的松装密度和振实密度,改善其压制性能,有利后续烧结获得高密度的ITO靶材。