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用表面光压(SPV)法确定异型外延材料中的少子扩散长度

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本文分析了用SPV法确定异型外延材料少子扩散长度的可行性,并对典型工艺参数,给出了有效少子扩散长度L_0与外延层厚度d、外延层及衬底少子扩散长度L_1、L_2的关系曲线.提供了一种确定外延层材料少子扩散长度的新方法.

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来源
《浙江大学学报（理学版）》 |1991年第2期|185|共1页
作者
夏银水;
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作者单位

不详;

不详;

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正文语种 chi
中图分类半导体晶体物理;
关键词
外延材料; 少子扩散长度; SPV法;

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