评价衍射光栅实际分辨率的新方法

摘要

本文叙述了平面衍射光栅分辨率及其半宽度测量法。用仪器函数理论对分辨率测试仪的缝宽作了详细讨论,并提出了改变缝宽来确定光栅实际分辨极限的新方法。给出了两块光栅用三种方法测试的结果,即谱线轮廓图波前干涉图和摄谱仪拍摄铁谱图。用三种图对照分析了这两块光栅的质量。