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杨德仁; 姚鸿年; 阙端磷;
高纯硅及硅烷国家重点实验室;
硅单晶; 氮; 氧沉淀; 单晶控制;
机译:低氧浓度氮掺杂直拉硅单晶的氧析出特性
机译:中子辐照氮掺杂直拉硅晶体中增强的氧沉淀
机译:氮掺杂的直拉硅中氧沉淀物的热稳定性
机译:氮掺杂的直拉生长硅中氮增强氧沉淀的TEM研究
机译:使用稳定的氮和氧同位素表征沉淀中的溶解硝酸盐。
机译:吸收传统的活性氧和氮物质检测方法的沉淀物及其在心血管系统中的用途
机译:铜沉淀对直拉硅单晶中洁净区形成的影响
机译:硅单晶中的氧杂质
机译:在用于制备氧沉淀物行为测量方法的单晶行为测量程序中记录用于确定硅氧如何沉淀的步骤以及硅单晶介质中的硅单晶片
机译:用于测量单晶硅中的氧沉淀行为的P方法,用于制造硅单晶晶片的工艺确定方法以及具有用于测量单晶硅中的氧沉淀行为的程序的记录介质
机译:直拉法测定硅单晶中氮浓度的方法
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