Y型带反射器的声表面波质量传感器

摘要

为了有效避免体波和边缘多次回波寄生效应，提出了一种Y型带倾斜反射器的双声路质量传感器．在输出叉指换能器（IDT）和芯片边缘之间加入反射器，有效抑制了由于芯片端面声阻抗不连续造成的声表面波端面反射，并提高了器件的灵敏度．在128°Y-X方向LiNbO3衬底上制作了质量传感器，通过非振荡匹配电路和网络分析仪测试了器件的性能．数据处理采用时频傅立叶变换，加门函数消除附加信号．测试结果表明，反射器对边缘多次反射信号的抑制为2～6dB．器件温度补偿效果显著，质量沉积效应灵敏度可达5．61GHz·cm^2／g，线性度良好．