基于遗传算法的电子光学系统优化设计

摘要

提出了一种以模拟自然界生物进化过程的全局优化搜索方法－遗传算法（ＧＡ）优化设计电子光学系统的新方法，该方法以电子光学系统的球差系数搜索目标，求出优化的系统几何结构参数和电参数，通过对等径四电极扩展场列电透镜（ＥＦＬ）的优化设计，表明了该方法的有效性。