基于小波分析的纳米运动平台振动研究

摘要

大行程纳米运动平台在宏微双驱动纳米定位系统中作为宏动台,其内部的振动、特别是运动方向的振动,对运动精度或定位精度会产生直接的影响。文章在研究纳米运动平台振动机理、特征数据提取方法的基础上,结合虚拟仪器技术,采用小波分析与傅立叶变换对比分析方法,对平台全工作行程内的振动状况进行详细的分析与研究。由实验证明,小波分析方法可获得平台各精确位置上的振动特征数据,将其作为确定控制参数的依据,能显著改善平台的运动控制性能。