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光学干涉位相移动法评价压电陶瓷响应曲线

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压电陶瓷是具有压电效应的一种功能陶瓷,其随电压的微位移形变精度很高,在微技术领域应用广泛,响应曲线是评价压电陶瓷性能的主要指标.利用光学干涉的手段获得形变干涉图样,采用位相移动的方法从图样中解析出形变大小,从而获得压电陶瓷的实际响应曲线.

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来源
《伊犁师范大学学报:自然科学版》 |2009年第1期|25-29|共5页
作者
张新阳; 夏莉艳; 周恒为;
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作者单位

伊犁师范学院物理与电子信息学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用光学;
关键词
干涉; 位相移动法; 响应曲线; 微位移;

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