对比度补偿的移相干涉位相复原与提速方法

摘要

移相干涉测量是超精密表面面形检测的一个重要手段,但对振动敏感性阻碍了其在振动环境下的应用,如在位测量和现场测量.通过理论分析和考察实际采集的干涉图,在干涉条纹强度表达式中增加了帧内对比度变化系数,得到了更精确的模型.采用正交分解对倾斜移相和对比度变化的非线性进行解耦合,得到了倾斜移相和对比度变化的系数,发展了一种可补偿帧内对比度的三步迭代法(IICC-TIA).一系列实验结果表明,IICC-TIA可有效减小帧内对比度不一致而引起的位相复原误差.为提高迭代算法的计算速度,提出了一种空间亚采样的方法,可在保证计算精度和空间分辨率的前提下,大幅减少计算时间.本文方法为移相干涉技术应用于振动环境下提供了一种低成本的解决方法.