氧化铝薄膜的外逸电子蒙特卡洛模拟

摘要

本文利用蒙特卡洛方法模拟了氧化铝的外逸电子发射过程,即对外逸电子的产生,输运和逸出过程进行了蒙特卡洛模拟.对每个外逸电子刚离域时的初始能量和初始位置进行随机抽样,模拟跟踪了每个电子的运动轨迹和能量变化.最后得到了氧化铝在T=500K的能量谱,和不同温度下的平均能量分布图,为以后研究氧化铝的外逸电子发射提供了重要的理论依据.