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400 nm~2 000 nm椭偏光谱仪的研究

             

摘要

建立了计算机自动控制测量400 nm~2 000 nm椭偏光谱仪系统.经过实验检验了系统的重复性及准确度,证明系统可用于高精度薄膜厚度的检测.

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