大幅面超精密图形发生器X－Y工作台位置补偿校正

摘要

在超精密控制中，一般采用双频激光多卜勒测量系统作为位置测量元件．因存在机架、材料膨胀及材料、激光死区和环境空气变化，控制软件必须对此进行补偿校正．文中分析并推导出了有关的Ｘ－Ｙ工作台位置补偿校正公式，并给出了进行实际应用的例子．