広域ナノパターンジェネレータ（ANGEL）の開発－大学における超精密加工機の研究開発

摘要

そのような観点から筆者らの研究室では、世界最高の工作機械の実現を目指し、「超のつくマザーマシン」を研究対象に、研究室の研究成果を集大成しながら、オンリーワンの工作機械の研究と開発に取り組んでいる。本稿では、素人のお遊びと比喩されることを承知で超精密加工機の開発経緯および我々の目指す工作機械について述べたいと思う。なお、研究過程で得られた成果については、順次、積極的に公表している。適宜、関連文献を参照いただきたい。