用傅里叶频谱测量焦距的调整误差分析

摘要

研究了用傅里叶频谱法测量球面和柱面光学系统焦距时,调整误差对测量结果的影响问题。分析结果表明,当:(1)准直物镜离焦达2.9%,即出射光束会聚度为0.2m^(-1);(2)狭缝有10mm离焦;(3)测量显微镜调焦误差为10mm时,以焦距为500mm的被测透镜为例,这些误差所产生的附加强度约为10^(-4)数量级,所以对测量结果没有显著影响。从而肯定了这种焦距测量方法具有仪器装置简单、测量精度高、调整方便、适用范围较广的优点。