飞秒激光改性硅材料的物理机理及其性质研究

摘要

随着激光技术的不断发展，激光加工在工业生产中得到了十分广泛的应用，例如常见的激光打孔、激光焊接、激光切割以及微纳加工、材料表面的处理以及改性等，激光加工不仅具有精度较高的特点，而且激光加工的速度很快，最大的应用优点是可以适应于不同的加工材料中，激光加工技术对于硬度以及熔点特别高的材料也能够进行不断加工处理。