Cu离子注入石英玻璃及退火后的透射率研究

摘要

将剂量分别为 1× 10 16,3× 10 16,5× 10 16,10× 10 16个 /cm2 的Cu离子注入石英玻璃 ,注入后在可见光区域均可观察到明显的吸收增强效应 ,当注入剂量达到 5× 10 16个 /cm2 及以上时可以观察到位于 5 70nm附近的吸收峰 ,吸收强度随剂量的增加而增加 .将 4个样品经退火处理后 ,吸收普遍增加且吸收峰向长波方向移动 ,注入 3×10 16个 /cm2 的样品也出现了吸收峰 .吸收峰的存在表明注入后有Cu的纳米晶体生成 ,且退火后Cu的纳米晶体成核生长导致共振吸收加强 .