应用于低失能近轴背散射电子的扩展Everhart理论

蒋昌忠

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应用于低失能近轴背散射电子的扩展Everhart理论

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将得到广泛应用的Everhart理论加以扩展以使其能包含利用低失能近轴背散射电子的扫描电子显微镜的 3个可调参量 :入射电子能量、能量损失窗口和探测角 .这一扩展不仅丰富了Everhart理论体系 ,同时使得能用解析的方法定性地描述上述 3个参量对高能同轴背散射电子背散射率的影响 .和蒙特卡罗模拟结果的对比表明 ,扩展Everhart理论更适合于解释薄样品中的同轴背散射电子 .

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来源
《武汉大学学报：理学版》 |2001年第1期|79-82|共4页
作者
蒋昌忠;
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作者单位

武汉大学物理科学与技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN160.1;
关键词
扫描电子显微镜; 风轴背散射电子; Everhart理论; 蒙特卡罗模拟; 背散射率; 入射电子能量; 探测角;

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