低失能近轴背散射电子的蒙特卡罗模拟计算

摘要

基于低失能近轴背散射电子的新型分析扫描电子显微镜的 3个可调参数 :入射能量、探测能量和探测角 ,本文用蒙特卡罗方法模拟入射电子在被分析样品中的运动轨迹 ,分析和讨论了上述 3个参量对背散射率、原子序数衬度、形貌衬度、信噪比和分辨率等的影响 。