Ge_xSi_(1-x)/Si超晶格衬底区中的弹性场

摘要

针对应变层超晶格界面处晶格畸变的特征，提出用位错网络模型模拟界面处的畸变，根据弹性理论，应用Volterra点方法，导出了界面畸变在社底区（Si）中，所引起的弹性场。