微加热器上不同工质的气泡动力学实验

摘要

设计并采用MEMS工艺制造了一种特征尺寸10μm并能产生单一稳定微米气泡的Pt薄膜加热器.在不同加热脉冲宽度条件下(100～1000 ms),用CCD摄像头和MATLAB程序定量研究了在乙醇、除气水和纳米流体中微气泡的动力学过程.研究发现:不同流体中,随着脉冲宽度的增加气泡直径增大,所需的起始功率减小.乙醇中气泡成核所需的功率最小,气泡直径最小;而纳米流体中所需功率最大,气泡直径也最大.通过表面张力与成核的理论模型对此进行了初步的理论分析.