等离子增强磁控溅射氮化铬强化喷针头

摘要

喷针头是自动喷号机中喷枪的易损部件,其耐磨性直接影响自动喷号机的打印标号效果。为延长其使用寿命,本文采用等离子增强磁控溅射技术,通过调控热丝放电电流、反应气体通量和镀膜时间,在喷针头表面制备化学计量比和厚度不同的氮化铬薄膜。实验结果表明,热丝放电电流大、镀膜时间短且氩氮比高时,氮化铬薄膜的硬度、模量及膜基结合强度较高。热丝电流5 A×4、气压0.35 Pa、N2与Ar流量为1∶1的条件下镀膜60 min,获得厚度1.25μm的氮化铬薄膜,其膜基结合强度高达87 N,涂覆氮化铬的喷针头耐磨性能提高至原来的2倍。