微静电开关双模态内共振动力学

摘要

在微型电子机械系统(MEMS)中,多种非线性因素严重影响其力学特性. 本文对一种具有典型结构的两端固定梁型微静电开关,考虑机械、静电及挤压气隙三部分因素,在电压变化情况下,用数值模拟研究了系统中的1∶2内共振动力学. 研究表明:当电压值比较小时,系统中存在复杂的动力行为,若此时同时有外激共振发生则开关接通时间增长.