电子雕刻系统用高频电-机械转换器的研制

摘要

电子雕刻系统是转移印花制版的关键设备,在分析电子雕刻系统的执行元件高频电-机械转换器结构的基础上,通过数学模型进行了动态性能仿真和磁场分析,讨论了主要结构参数对性能的影响;采用反射光测量方法研究了其静态滞回特性和幅频响应特性,并在电子雕刻系统上进行了实际应用测试.结果表明,该摆动式电-机械转换器最大输出角位移约为±0.0064 rad(刻针针尖位移±65μm),滞环小于5.5%,幅频宽可达3 100 Hz,是一种结构简单、动作可靠、频响高、线性好的高频电-机械转换器,能够满足电子雕刻系统对电-机械转换器性能的需求.