清华大学精密仪器系 北京 100084;
精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京 100084;
智能微系统教育部重点实验室 北京 100084;
北京未来芯片技术高精尖创新中心 北京 100084;
清华大学精密仪器系 北京 100084;
精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京 100084;
智能微系统教育部重点实验室 北京 100084;
北京未来芯片技术高精尖创新中心 北京 100084;
清华大学精密仪器系 北京 100084;
精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京 100084;
智能微系统教育部重点实验室 北京 100084;
北京未来芯片技术高精尖创新中心 北京 100084;