基于激光背向散射干涉的微通道内液体温度检测技术

摘要

cqvip:针对微通道内液体温度的检测问题,发展了一种基于激光背向散射干涉(back-scattering interferometry,BSI)和热光效应的透明微通道内液体温度检测技术。当微通道内液体温度发生变化时,由于热光效应液体的折射率会发生改变,从而使得BSI干涉条纹发生移动。文中以超纯水为例,采用波长为532 nm的激光作为光源,石英毛细管作为微通道,利用傅里叶变换对不同温度下的BSI干涉条纹光强曲线进行处理,建立了温度与BSI信号相位值之间的关系,从而实现了透明微通道内水温的高灵敏度非接触式定量检测,所得的温度分辨率为0.003℃.