固体表面聚合物LB膜的原子力显微镜研究

摘要

聚合物 Langmuir-Blodgett(LB)膜一方面因具有分子层次上的有序性.同时又有相当好的热稳定性和机械性能而在微电子等现代科学技术领域中有着越来越广泛的应用.如聚酰亚胺(Pulyimide)可用于超薄绝缘膜和液晶显示中的定向层.而聚甲基丙烯酸甲酯(poly(methylmethacrylate),PMMA)作为电子束刻蚀中的抗蚀层材料.由于其灵敏度低而分辨率高在亚微米以至纳米刻蚀中获得了大量的应用.在这些实际应用中。