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用连续波CO_2激光对氮化硅陶瓷打孔的实验研究

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报导用连续波ＣＯ_２激光加工机对氮化硅陶瓷的激光打孔试验，获得了深径比达１８．７５的结果．

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来源
《华南师范大学学报：自然科学版》 |2000年第1期|59-62|共4页
作者
陈可心; 张有; 廖健宏; 王卫乡;
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作者单位

华南师范大学量子电子学研究所;

广东省邮电管理局;

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正文语种 chi
中图分类基础理论;
关键词
激光加工; 氮化硅陶瓷; 激光打孔; 二氧化碳激光;

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