沉积温度影响有机太阳能电池阳极薄膜结晶性能

摘要

采用射频磁控溅射工艺,以氧化锌铝(AZO)陶瓷靶作为靶材,通过优化工艺参数在玻璃基板上制备了具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜.基于X射线衍射(XRD)测试表征,研究了沉积温度对薄膜结晶性能的影响.实验结果表明:AZO薄膜的结晶性能与沉积温度密切相关,较低温度时,随着沉积温度的升高,薄膜的结晶性能得到提高,但是沉积温度进一步升高时却有所变差.当沉积温度为400 ℃时,AZO薄膜的结晶性能最佳,c轴取向良好,晶粒尺寸接近40 nm.