离子束处理微型滚珠的表面和界面分析

摘要

用ＥＤＡＸ和ＡＥＳ分析了离子束动态混合处理的１．５７～１．６０ｍｍ微型滚珠表面的均匀性和界面混合情况．在１００ｋｅＶ的Ｎ离子束动态混合条件下，界面混合区达１４０ｎｍ以上；同一球面不均匀度小于１３％，球间不均匀度小于１５％．结果表明，为提高这类轴承的使用寿命，在适当工艺条件下采用离子束表面强化处理。