离子束处理精密微型轴承滚珠的俄歇电子能谱和电子衍射分析

摘要

用离子束动态混合技术将Ｔｉ和Ｎ两种离子同时注入φ１．５７－１．６０ｍｍ的精密微型轴承滚珠。用俄歇电子能谱和电子衍射分析分别检验了注入离子在基体内的纵向分布和在球表面的均匀性。在辅助沉积Ｎ离子的能量为１００ｋｅＶ、注入剂量为３×１０＾１７ｉｏｎｓ／ｃｍ＾２的条件下，混合区宽度达１４０ｎｍ以上，同一球面的不均匀度〈１３％，球间的不均匀度〈１５％。表明在适当工艺条件下，对这种精密部件采用离子束表面优化改