不需加热清洗的高线性湿度传感器的研制

摘要

本文详细 阐述了不需加热清洗的高线性湿度传感器的工作机理和制造方法。感湿元件采用ＭｇＯ，Ｃｒ２Ｏ３，Ｂｉ２Ｏ３等金属氧化物的适当组合，通过高温烧结而成。具有阻值变化适中、线性好、测湿范围广、精度高、响应快、不用加热清洗等特点。