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马斌; 祃艳双; 张万江; 王长涛; 郭彤颖;
沈阳建筑大学信息与控制工程学院,辽宁,沈阳,110168;
有限元; 迭代; 数值模拟; 电磁场;
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机译:二维电容耦合等离子体刻蚀的二维鞘层数值模拟方法及系统
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