射频感性耦合等离子体中的受迫振荡研究

摘要

实验研究了匹配状态、放电气压对氩气射频感性耦合等离子体中受迫振荡的影响。结果表明:受迫振荡总是出现在放电的正反馈区;在高气压下(>30Pa)受迫振荡的频率较低。对于使用射频感性耦合等离子体进行薄膜沉积的参数选择给予了理论指导。