温度对精密定位工作台的影响及其补偿

摘要

温度变化对于大行程、高精度精密定位平台的精度有较大的影响,为此,提出了一种基于定位工作台热膨胀模型的实时温度补偿方法.试验结果表明,该补偿方法可将因温度影响而产生的工作台漂移均方根值降低80％以上,并且方法简单可靠,易实现实时补偿,能有效提高定位工作台的实际精度.