基于3-PPRR并联机构的精密定位工作台设计及其运动学分析

摘要

设计了一种用于纳米压印光刻机的精密定位工作台,并对其进行构型设计、运动学分析与建模研究等关键技术.首先以传统3-PPRR并联机构为基础,将机构中的刚性运动副用柔性铰链代替,设计了一台精密定位工作台,并建立了机构的伪刚体模型.通过其运动约束方程,得出了机构的位置逆解表达式,进而得到机构的位置正解表达式.利用RecurDyn软件对机构进行运动仿真从而对其运动轨迹进行验证.