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基于云计算的半导体制造企业的制造执行系统重构

         

摘要

当前半导体制造工厂的制造执行系统(MES)存在着许多问题.给出了半导体制造工厂制造执行系统(MES)重构的约束条件和相关要求,提出了一种基于云计算的MES重构框架及其技术路线;重构后的MES能够适应半导体制造企业当前的生产经营和不断发展的需求.

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