keV低能束作用下固体BSEs角分布

摘要

应用蒙特卡罗方法 ,对不同能量低能电子作用下元素固体 Al,Cu,Ag,Au的背散射电子角分布及其与其他分布的关系作了模拟 .计算分析了背散射电子角分布随能量及原子序数的变化 ,不同出射角区背散射电子在固体中发射深度分布 ,能谱及表面空间分布 .结果表明背散射电子角分布随能量降低偏离余弦分布时发射规律的变化 ,小出射角区背散射电子强度增大主要来自样品浅表层大角度背散射产生的低能损背散射电子增加 ,且具有较好表面空间分辨率 .