CF_4- CH_4 等离子体对 PET 的表面改性及反应动力学

摘要

利用 Ｘ射线光电子能谱仪和接触角方法研究表征了 Ｃ Ｆ４ Ｃ Ｈ４ 混合气体 Ｒ Ｆ等离子体改性 Ｐ Ｅ Ｔ的表面特征根据沉积速率可将整个浓度范围分为三个区域，各区域内等离子体作用机制不同区域１（０～８３．３％ ）为等离子体聚合区域；区域２（８３．３～９６．２％ ）内聚合起主要作用，刻蚀起次要作用，区域３（９６．２～１００％ ）内刻蚀和氟化接枝起主要作用借鉴表面吸附反应动力学模型，推导出等离子体表面类吸附反应动力学方程式。