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In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的热力学分析

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本文采用独立组元法对In-Ga合金源汽相外延生长In_xGa_(1-x)As体系的平衡状态作了热力学计算和分析,所得结果对认识该体系外延生长的规律性及改进工艺条件有一定参考价值.

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来源
《半导体学报》 |1989年第4期|301-308|共8页
作者
徐宝琨; 李钟华; 宋利珠; 赵慕愚;
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作者单位

吉林大学电子科学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.054;
关键词
热力学计算; 气相外延; 铟镓砷;

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