碳化硅电力电子器件及其制造工艺新进展

摘要

评述了各种碳化硅电力电子器件研究开发的最新进展及其发展前景 ,指出碳化硅的优势不仅仅限于能提高功率开关器件的电压承受能力、高温承受能力和兼顾频率与功率的能力 ,还在于能大幅度降低器件的功率损耗 ,使电力电子技术的节能优势得以更加充分地发挥 .针对碳化硅材料的特殊性和实现碳化硅器件卓越性能的需要 ,分析了器件工艺当前亟待解决的问题 .