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一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法(英文)

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提出了一种解决SU 8 去胶难题的方法.该方法首先将SU- 8 微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具.通过该方法制备得到了深宽比达到10的金属模具,而且模具表面光滑,侧壁垂直.

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来源
《半导体学报》 |2005年第5期|899-903|共5页
作者
李建华; 陈迪; 张金娅; 刘景全; 朱军;
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作者单位

上海交通大学微纳米科学技术研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
SU-8去胶; 电铸; PDMS; 金属模具; 高深宽比微结构;

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