单晶硅衬底材料中的消光衍射

摘要

在经典衍射理论中 ,Si(2 0 0 ) ,Si(2 2 2 )等 4 n+2面的反射是消光的 ,但在单晶硅或硅基材料中 ,常发现 Si(2 0 0 ) ,Si(2 2 2 )的衍射 .考虑非谐效应和电子云反对称分布的贡献 ,分别计算了 Si(2 0 0 ) ,Si(2 2 2 )消光衍射的相对强度 ,并用 XRD测试手段进行了验证 .结果表明 ,理论与实验值基本符合 .在室温下 ,Si(2 0 0 ) ,Si(2 2 2 )衍射主要是因为反对称的电子云分布所致 .同时 ,强调了 Si(2 0 0 ) ,Si(2 2 2 )衍射在