50/100GHz AWG型光学梳状滤波器的设计与制备

摘要

以Si基SiO2平面光波导为基础，设计并制备了50／100GHz AWG型光学梳状滤波器．制备得到的AWG型光学梳状滤波器可以覆盖1520～1585nm的波长范围，共有160个信道．功率输出不均匀度13dB，在距离中心频率最远的信道，输出频率偏离ITU标准15GHz．分析了影响器件串扰和信道频率偏移的原因，并提出了相应的解决办法．