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ZnSe的MOVPE生长相图：以DMZn和H_2Se为源

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摘要

本文基于热力学平衡计算，首次给出以ＤＭＺｎ和Ｈ２Ｓｅ为源，ＭＯＶＰＥ生长ＺｎＳｅ的相图．文中讨论了ＺｎＳｅ单一凝聚相区的范围，以及可能出现ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｚｎ（ｓ）或ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｓｅ（ｌ）两种双凝聚相区的条件．

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来源
《半导体学报》 |1996年第6期|401-405|共5页
作者
段树坤; 陆大成;
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作者单位

集成光电子学国家重点实验室中国科学院半导体研究所;

半导体材料科学实验室中国科学院半导体研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类发光器件;
关键词
DMZn源; H2Se源; MOVPE; 生长相图; 硒化锌; 发光器件;

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